Promo Alatuji

Penawaran Terbatas • Mei 2026

Dapatkan penawaran terbaik alat uji sekarang!

Hubungi via WhatsApp Lihat semua promo Mei

alatuji.co.id — Solusi alat uji terpercaya

InterferoMETER 5600

InterferoMETER 5600

OVERVIEW

IMS5600-DS adalah interferometer absolut berperforma tinggi yang dirancang untuk pengukuran jarak dengan presisi maksimum, khususnya di lingkungan cleanroom dan vakum. Dengan resolusi hingga sub-nanometer serta sistem evaluasi cerdas, sensor ini ideal untuk aplikasi dengan tuntutan akurasi sangat tinggi seperti industri elektronik dan semikonduktor.

FITUR

  • Pengukuran absolut dengan resolusi hingga sub-nanometer
  • Akurasi sangat tinggi untuk aplikasi presisi ekstrem
  • Didesain khusus untuk cleanroom dan lingkungan vakum (hingga UHV)
  • Sensor, kabel, dan aksesoris bebas partikel (low contamination)
  • Sistem evaluasi cerdas dengan kalibrasi khusus
  • Stabil dan andal untuk aplikasi industri semikonduktor
  • Cocok untuk pengukuran jarak dengan standar presisi tertinggi

SPESIFIKASI

Model IMS5600-DS IMS5600MP-DS
Resolution < 30 pm
Measuring rate continuously adjustable from 100 Hz to 6 kHz
Linearity < ±10 nm < ±10 nm for the first distance;
< ±100 nm for each further distance
Temperature stability temperature compensated, stability < 10 ppm between +15 … +35 °C
Multi-peak measurement – up to 13 layers
Light source NIR-SLED, narrow wavelength band at approx. 840 nm;
pilot laser: laser LED, wavelength 635 nm
Laser class Class 1 according to DIN EN 60825-1: 2015-07;
Pilot laser: Class 1, power (< 0.2 mW)
Supply voltage 24 VDC ± 15 %
Power consumption approx. 10 W (24 V)
Signal input Sync in, trigger in, 2x encoders (A+, A-, B+, B-, index)
Digital interface Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP
Analog output 4 … 20 mA / 0 … 10 V (16 bit D/A converter)
Switching output Error1-Out, Error2-Out
Digital output sync out
Connection (Optical) Pluggable fiber optic cable via E2000 socket (controller);
see accessories for cable lengths; bending radius:
static 30 mm, dynamic 40 mm
Connection (Electrical) 3-pin supply terminal strip; encoder connection (15-pin, HD-sub socket);
RS422 connection socket (9-pin, Sub-D);
max. cable length 30 m;
RJ45 socket for Ethernet (out) / EtherCAT (in/out) (max. 100 m)
Mounting Sensor via radial clamping or mounting adapter;
controller free-standing or top-hat rail mounting
Temperature range (Storage) -20 … +70 °C
Temperature range (Operation) +15 … +35 °C
Shock 15 g / 6 ms in XY axis, 1000 shocks each
Vibration 2 g / 20 … 500 Hz in XY axis, 10 cycles each
Protection class IP40
Material Aluminum housing, passive cooling
Control and indicator elements Multifunction button: two adjustable functions and reset to factory settings after 10 s;
web interface for setup: selectable presets, freely selectable averaging,
data reduction, setup management;
6 x color LEDs for intensity, range, SLED, pilot laser, status and power;
pilot laser can be switched on for sensor alignment

Related products