ConfocalDT IFS2407-xHT/VAC

OVERVIEW

Sensor confocal chromatic terbaru dari Micro-Epsilon dirancang untuk pengukuran jarak dan ketebalan dengan akurasi tinggi di lingkungan ekstrem. Sensor ini mampu bekerja pada suhu hingga 200 °C, serta tetap stabil secara termal. Dengan desain kompak dan kompatibilitas vakum (hingga ultra-high vacuum/UHV), sensor ini sangat cocok untuk aplikasi presisi tinggi seperti mesin presisi dan industri semikonduktor.

FITUR

Tahan suhu tinggi hingga 200 °C dengan akurasi maksimal
Desain kompak untuk ruang instalasi terbatas
Kompatibel dengan lingkungan vakum hingga UHV (low outgassing)
Material stainless steel tanpa perekat organik
Tersedia berbagai measuring range dan opsi sudut 90°
Stabil secara termal untuk hasil pengukuran konsisten
Ideal untuk aplikasi presisi tinggi dan lingkungan ekstrem

SPESIFIKASI

Parameter	IFS2407-0,8HT/VAC	IFS2407-2HT/VAC	IFS2407/90-2HT/VAC	IFS2407-4HT/VAC	IFS2407/90-4HT/VAC
Measuring range	0.8 mm	2 mm	2 mm	4 mm	4 mm
Start of measuring range	approx. 5.85 mm	14.5 mm	8 mm	14.5 mm	8 mm
Resolution (Static)	< 6 nm	< 10 nm	< 10 nm	< 24 nm	< 24 nm
Resolution (Dynamic)	< 45 nm	< 90 nm	< 90 nm	< 180 nm	< 180 nm
Linearity (Displacement & Distance)	< ±0.16 µm	< ±0.4 µm	< ±0.4 µm	< ±0.8 µm	< ±0.8 µm
Linearity (Thickness)	< ±0.35 µm	< ±0.88 µm	< ±0.88 µm	< ±1.76 µm	< ±1.76 µm
Temperature stability	<0.015 % FSO/K	<0.005 % FSO/K	<0.005 % FSO/K	<0.01 % FSO/K	<0.01 % FSO/K
Light spot diameter	11 µm	19 µm	19 µm	29 µm	29 µm
Maximum measuring angle	±30°	±12°	±12°	±8°	±8°
Numerical aperture (NA)	0.50	0.28	0.28	0.19	0.19
Min. target thickness	0.04 mm	0.1 mm	0.1 mm	0.2 mm	0.2 mm
Target material	Reflective, diffuse as well as transparent surfaces (e.g. glass)
Connection	Pluggable optical fiber via FC socket
Mounting	Clamping / screw connection via four mounting holes M2x0.4
Temperature range (Storage)	-20 … +200 °C
Temperature range (Operation)	+5 … +200 °C
Shock	15 g / 6 ms in XY axis, 1000 shocks each
Vibration	2 g / 20 … 500 Hz in XY axis
Protection class	IP40 (vacuum compatible)
Material	Stainless steel housing, glass lenses
Weight	approx. 40 g	approx. 40 g	approx. 50 g	approx. 40 g	approx. 50 g