Sensor confocal chromatic terbaru dari Micro-Epsilon dirancang untuk pengukuran jarak dan ketebalan dengan akurasi tinggi di lingkungan ekstrem. Sensor ini mampu bekerja pada suhu hingga 200 °C, serta tetap stabil secara termal. Dengan desain kompak dan kompatibilitas vakum (hingga ultra-high vacuum/UHV), sensor ini sangat cocok untuk aplikasi presisi tinggi seperti mesin presisi dan industri semikonduktor.
FITUR
Tahan suhu tinggi hingga 200 °C dengan akurasi maksimal
Desain kompak untuk ruang instalasi terbatas
Kompatibel dengan lingkungan vakum hingga UHV (low outgassing)
Material stainless steel tanpa perekat organik
Tersedia berbagai measuring range dan opsi sudut 90°
Stabil secara termal untuk hasil pengukuran konsisten
Ideal untuk aplikasi presisi tinggi dan lingkungan ekstrem
SPESIFIKASI
Parameter
IFS2407-0,8HT/VAC
IFS2407-2HT/VAC
IFS2407/90-2HT/VAC
IFS2407-4HT/VAC
IFS2407/90-4HT/VAC
Measuring range
0.8 mm
2 mm
2 mm
4 mm
4 mm
Start of measuring range
approx. 5.85 mm
14.5 mm
8 mm
14.5 mm
8 mm
Resolution (Static)
< 6 nm
< 10 nm
< 10 nm
< 24 nm
< 24 nm
Resolution (Dynamic)
< 45 nm
< 90 nm
< 90 nm
< 180 nm
< 180 nm
Linearity (Displacement & Distance)
< ±0.16 µm
< ±0.4 µm
< ±0.4 µm
< ±0.8 µm
< ±0.8 µm
Linearity (Thickness)
< ±0.35 µm
< ±0.88 µm
< ±0.88 µm
< ±1.76 µm
< ±1.76 µm
Temperature stability
<0.015 % FSO/K
<0.005 % FSO/K
<0.005 % FSO/K
<0.01 % FSO/K
<0.01 % FSO/K
Light spot diameter
11 µm
19 µm
19 µm
29 µm
29 µm
Maximum measuring angle
±30°
±12°
±12°
±8°
±8°
Numerical aperture (NA)
0.50
0.28
0.28
0.19
0.19
Min. target thickness
0.04 mm
0.1 mm
0.1 mm
0.2 mm
0.2 mm
Target material
Reflective, diffuse as well as transparent surfaces (e.g. glass)
Connection
Pluggable optical fiber via FC socket
Mounting
Clamping / screw connection via four mounting holes M2x0.4