IMS5400-DS adalah interferometer absolut yang dirancang untuk pengukuran jarak industri dengan resolusi hingga nanometer. Dengan fitur evaluasi cerdas dan kemampuan pengukuran absolut pada offset distance yang relatif besar, sistem ini menawarkan kombinasi unggul antara akurasi, jangkauan ukur, dan stabilitas sinyal.
FITUR
Pengukuran absolut dengan resolusi hingga level nanometer
Akurasi tinggi pada offset distance yang besar
Small light spot untuk mendeteksi detail dan struktur kecil
Mampu mengukur step profile (perbedaan ketinggian) secara langsung
Stabil dan presisi tinggi bahkan pada objek bergerak
Deteksi akurat untuk permukaan kompleks seperti step, lekukan, dan tonjolan
Cocok untuk aplikasi inspeksi presisi dan pengukuran permukaan kompleks